Fordeler:
1. God ytelse under harde miljø (høy temperatur, støv, etc.).
2. Stabil ytelse og lang levetid
3. Enkelt vedlikehold, praktisk drift
Applikasjoner:
Oljesmøring turbo pumper brukes hovedsakelig i industriell lekkasjedeteksjon, PVD, CVD, ionimplantasjon, vakuumelektronikkomponentproduksjon, low-E glass, ITO glass, optisk belegg, solceller, elektronstrålesveising, vakuumovn og andre næringer.
Spesifikasjoner:
Flens (inn) |
DN150 CF/ISO-K |
Maks. Kontinuerlig forvakuumtrykk (Pa) |
240 |
Flens (Ut) KF |
DN40 KF |
Maks. Forvakuumtrykk (Pa) |
N2: 350 |
Pumpehastighet (L/s) |
N2: 600 |
Gass gjennom hele (sccm) |
N2: 1200 |
Han: 380 |
Han: 880 |
||
H2: 240 |
H2: 700 |
||
Ar: 580 |
Ar: 450 |
||
Komprimeringsforhold |
N2: 109 |
Rotasjonshastighet (rpm) |
36000 |
Han: 105 |
Oppstartstid (min) |
≤9 |
|
H2: 104 |
Kjøletype, standard |
Vann/luft |
|
Ar: 109 |
Kjølevannforbruk (L/min) |
≥1 |
|
Ultimate Press (Pa) |
CF: 6 × 10-8 |
Kjølevannstemperatur (℃) |
≤25 |
ISO-K: 6 × 10-7 |
Strømtilkobling: Spenning (V AC) |
220 ± 22 |
|
Kontrollmodell |
TCDP-II |
Maks. Strømforbruk (W) |
≤500 |