Fordeler:
Denne pumpeserien er god til ytelse under tøffe omgivelser (høy temperatur, støv, etc.), stabil i ytelse og med lang levetid, og enkelt vedlikehold og praktisk drift også.
Applikasjoner:
De viktigste applikasjonene er innen industriell lekkasjedeteksjon, PVD, CVD, ionimplantasjon, vakuumelektronikkomponentproduksjon, lav-E-glass, ITO-glass, optisk belegg, solceller, elektronstrålesveising, vakuumovn og andre næringer
Spesifikasjoner:
Flens (inn) | DN400 ISO-K | Gass gjennom hele (sccm) | N2: 5500 |
Flens (Ut) KF | DN100 | Han: 4000 | |
Pumpehastighet (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Han: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Rotasjonshastighet (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Oppstartstid (min) | ≤18 | |
Komprimeringsforhold | N2: 108 | Kjøletype, standard | Vann |
Han: 103 | Kjølevannforbruk (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Kjølevannstemperatur (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Strømtilkobling: Spenning (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultimert trykk (Pa) | 6 × 10-6 | Maks. Strømforbruk (W) | ≤1100 |
Maks. Kontinuerlig forvakuumtrykk (Pa) | 100 | Kontrollmodell | FD-III |
Maks. Forvakuumtrykk | N2: 300 | Vekt (kg) | 130 |