Det er oppgraderingsversjonen av EM8000, med oppgradert E-Beam-rørakselerasjon, varierer vakuummodus, tilgjengelig for å observere ikke-ledende prøve ved lav spenning uten sputtering, enkelt, praktisk og vennlig driftssystem, plan for flere ombygginger. Det er også den første FEG SEM som har oppløsningen på 1nm (30kV).
Fordeler:
1, Schittky elektronpistol, høy lysstyrke, god monokromitet, liten strålepunkt, lang levetid.
2, Med E-beam tube accelaration, valgfri trinnretardasjon
3, stabil strålestrøm, lav energispredning
4, ikke-ledende prøve observeres uten sputtering i lav spenning
5, enkelt, praktisk og vennlig betjeningsgrensesnitt
6, enorme 5 akser motorisert trinn
Spesifikasjoner:
Konfigurasjon | |
Vedtak | 1nm@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
Forstørrelse | 15x-800.000x |
Akselerere spenning | 0-30kV kontinuerlig og justerbar |
Elektronpistol | Schottky -feltutslippspistol |
Katodemitter | Wolfram monokrystall |
Five Axes Eucentric Auto Stage | X: 0 ~ 150 mm |
Y: 0 ~ 150 mm | |
Z: 0 ~ 60 mm | |
R: 360 ° | |
T: -5 °~75 ° | |
Maks prøve | 320 mm |
L*W*H | 342 mm*324 mm*320 mm (innvendig kammerstørrelse) |