Flens (inn) | CF | 63CF | anbefalt for vakuumtrykk | Pa | <50 |
forevakuumpumpe | GHD-031B (olje) (tørrpumpe valgfritt) | ||||
Flens (ut) | ISO-KF | DN25 | Kjøletype, standard | Luft | |
Pumpehastighet | l/s | N2: 62 | |||
Han: 55 | |||||
H2: 34 | Inngangsspenning/ frekvens | V/Hz | 220 ± 22/50 | ||
Ar: 65 | Miljøtemperatur (℃) |
Luftkjøling |
5 ℃ -32 ℃ |
||
Komprimeringsforhold | N2: 109 | ||||
Han: 105 | monteringsposisjon | Vertikal | |||
H2: 104 | Kontrollmodell | TCP-100 | |||
Ar: 109 |
L*W*H |
mm | 400 × 300 × 260 | ||
Ultimate Pressure | Pa | CF: 5 × 10-5 | |||
Vekt | kg |
21 |
Pumpestasjon FJ-80, kompakt olje eller tørr reservepumpe valgfritt:
Turbo -pumpestasjonen er et rent, høyt utstyr (ultrahøyt) for å skaffe, og det er et vakuumoppsamlingssystem som hovedsakelig består av en molekylær pumpe og en mekanisk pumpe i henhold til vakuumkunnskap og prinsipp. Produktene i denne spesifikasjonen inkluderer FJ-80, turbopumpestasjon, med tilsvarende pumpehastighet på 62L/s. Pumpehastighetene til støtteoljepumpene er 0,5L/s, og pumpehastighetene til de tørre pumpene som er støttet, er 0,2L. Disse produktene er mye brukt på overflateanalyse, akseleratorteknologi, plasmateknologi, forskningslaboratorier, produksjon av elektriske vakuumenheter og andre vakuumområder.
Konfigurasjon:
Ramme | Bærbar enhet |
Molekylær pumpe | FF-63/80 |
Molekylær pumpekontroll modul |
TC-100 |
Støttepumpe | GHD-031B (oljepumpe) KNF 813.3 ANF (tørrpumpe) |
Vakuummåler | WPC400 (ekstern, valgfri) |
Elektromagnetisk blokkventil | AirTAC |
Overgangskammer | DN63/CF35/KF40 (tilpasses) |
Andre vedlegg | Bølgepapp, bøyle, bolter, blokkventil, oksygenfri kobberforseglingsring, etc. |