Magnetisk levitert pumpe, CXF-200/1401E, Vannkjøling, Ombord

De magnetisk leviterte molekylære pumpene er pumpene som akslingen støttes på grunn av magnetisk kraft.
Serie magnetisk leviterte molekylære pumper er vakuumgenereringsutstyr utviklet av KYKY for å oppfylle applikasjonskrav innen moderne halvlederproduksjon, brikkeproduksjon, industriell plating og vitenskapelige instrumenter.

Teknologier:

• Kontrollteknologi for magnetisk lager: Den vedtatte elektromagnetiske er en 5-akset magnetisk levitert. Denne designen kan ha dynamisk respons og rettidig justering ved hjelp av dynamisk aktiv lukket krets magnetisk fjæringskontrollteknologi basert på avansert internasjonal kontrollteori, for å garantere slike betydelige fordeler med høyhastighets aksling som stabil levitert og pålitelig drift.
• Motor Drive Control Technology: Høyeffektiv høyhastighets likestrømsmotor og servokontrollsystem brukes på serie magnetisk leviterte pumper, for å få maksimal energi til motoren og for å kompensere rotasjonshastigheten for aksling automatisk, og derved oppnå stabil oppstart, pålitelig drift og automatisk regulering funksjon av dynamisk energi.
• Karbonfiber komposittrotorteknologi: Turbo-rotorene til seriemagnetiske suspensjonsmolekylære pumper er laget ved å blande høyfast aluminiumslegering og lett karbonfiber. I sammenligning med alle aluminiumslegeringsrotorer kjennetegnes turbo -rotorene av stor vektreduksjon og stor styrkeforbedring, slik at mål med høy rotasjonshastighet, høy ytelse og høy pålitelighet oppnås.
• Korrosjonsbestandig teknologi: Overflater av deler i kamre i seriemagnetiske suspensjonsmolekylære pumper behandles med spesiell prosess, slik at overflatene kan motstå korrosjon forårsaket av etsende gasser i halvlederproduksjonsprosesser i lang tid. I tillegg er slike inerte gasser som N2 fullt fylt i aksling av pumpene for å beskytte de lave vakuumdelene i pumpene, slik at funksjonen til stabilt utmattende etsende gasser i lange perioder blir realisert.
• Kontrollsystem for oppvarmingstemperatur: Serie magnetisk leviterte molekylære pumper er utstyrt med en elektrisk varmeapparat og en temperaturregulator, slik at kjølevann, luftbeinoppvarming, elektrisk oppvarming og varme som bæres av beskyttende gasser kan overvåkes og kontrolleres under drift, temperaturen i pumpene kan opprettholdes kl. noen verdi på lang sikt, noen gassformige stoffer blir ikke omdannet til faste stoffer ved normal temperatur og ikke avsatt i pumpene, og krav til spesiell prosess som etsning kan oppfylles.

Fordelene:

1.Null friksjon under drift og lavt strømforbruk

2. lett å skaffe virkelig rent høyt vakuum og ultrahøyt vakuum uten smøring for pumper

3. i stand til å trekke ut etsende gasser på lang sikt

4.Høy sikkerhet og lang levetid på grunn av beskyttelse av lagre med presisjons keramiske kuler

5. strømgenererende funksjon ved plutselig avstengning

Spesifikasjoner:

Applikasjoner:

Serie magnetisk leviterte molekylære pumper brukes hovedsakelig på områder med halvlederproduksjon, klippeproduksjon, industriell plating og vitenskapelige instrumenter, spesielt for ekstraksjon av etsende gasser som finnes i ets, CVD, PVD og ionimplantasjon og gasser som lett koaguleres ved normal temperatur.