Maglev Pump, CXF-250/2301E, ISO-K/CF, Vannkjøling om bord

Kort beskrivelse:

De magnetisk leviterte molekylære pumpene er pumpene som aksling støttes på grunn av magnetisk kraft, som oppfyller applikasjonskrav for felt innen moderne halvlederproduksjon, flisproduksjon, industriell plating og vitenskapelige instrumenter.


Produkt detalj

Produktetiketter

Teknologier:

  • Kontrollteknologi for magnetisk lager: en 5-akset magnetisk levitert, basert på avansert internasjonal kontrollteori, for å garantere slike betydelige fordeler med høyhastighets aksling som stabil levitert og pålitelig drift.
  • Motor Drive Control Technology: Høyeffektiv høyhastighets likestrømsmotor og servokontrollsystem, som har maksimal energi til motoren og kompenserer rotasjonshastigheten for aksling automatisk, og derved oppnår stabil oppstart, pålitelig drift og automatisk reguleringsfunksjon for dynamisk energi.
  • Karbonfiber komposittrotorteknologi: Laget ved å blande høyfast aluminiumslegering og lett karbonfiber. preget av stor vektreduksjon og stor styrkeforbedring, slik at mål om høy rotasjonshastighet, høy ytelse og høy pålitelighet oppnås.
  • Korrosjonsbestandig teknologi: Overflater av deler i kamre behandles med en spesiell prosess, slik at overflatene kan motstå korrosjon forårsaket av etsende gasser i halvlederproduksjonsprosesser i lang tid. I tillegg er inerte gasser som N2 fullt fylt med aksling av pumpene for å beskytte de lave vakuumdelene i pumpene, slik at funksjonen til stabilt utmattende etsende gasser i lange perioder blir realisert.
  • Kontrollsystem for oppvarmingstemperatur: utstyrt med en elektrisk varmeapparat og en temperaturkontroller, kan kjølevann, luftbeinvarme, elektrisk oppvarming og varme som bæres av beskyttende gasser overvåkes og kontrolleres under drift, temperaturen i pumpene kan opprettholdes til en viss verdi for lang sikt, noen gassformige stoffer omdannes ikke til faste stoffer ved normal temperatur og deponeres ikke i pumpene, og krav til spesiell prosess som etsning kan oppfylles.

Fordelene:

Denne pumpen har fordeler, for eksempel null friksjon under drift og lavt strømforbruk, lett å skaffe virkelig rent høyt vakuum og ultrahøyt vakuum uten smøring for pumper, i stand til å trekke ut korroderende gasser på lang sikt, høy sikkerhet og lang levetid på grunn av beskyttelse lagre med presisjons keramiske kuler og kraftgenererende funksjon ved plutselig avstengning. Den har fordeler som fri for friksjon, forurensning og vedlikehold og med lav vibrasjon, og kan installeres i alle retninger.

Applikasjoner:

Ekstraksjon av etsende gasser som finnes i ets, CVD, PVD og ionimplantasjon og gasser koaguleres lett ved normal temperatur innen halvlederproduksjon, klippeproduksjon, industriell plating og vitenskapelige instrumenter, spesielt til.

Spesifikasjoner:

Modell CXF-250/2301
Pumpehastighet (l/s, luft) 2200
Komprimeringsforhold > 1 × 107
Ultimate Vacuum (Pa) ≤2 × 10-7
Innløpsflens DN250 ISO F
DN250 CF
Utløpsflens KF 40
Rotasjonshastighet (rpm) 30000
Oppstartstid (min) 8
VIB (mm) <0,05
Støttepumpe (l/s) 15
Montering eller utførelse Noen
Avkjølingsmetode Vann
Vekt (kg) (med kontroller) 58

  • Tidligere:
  • Neste:

  • Skriv meldingen din her og send den til oss

    Produktkategorier